Метод ВИМС
...достаточную чувствительность метода ( »10-4 монослоя), как видно из фиг.5, необходим первичный ионный пучок с током 10-10 А...
...самим процессом измерения . Если толщина слоя (или глубина залегания границы раздела) превышает примерно 2RP то...