Молекулярно-лучевая эпитаксия
Поэтому, несмотря на дороговизну, он широко применяется при изготовлении наноструктур [2].
...вакуум, точный контроль температуры подложки, различные методы диагностики растущей пленки в сочетании с компьютерной системой управления параметрами...