Тема: Способы нанесения тонких пленок

При изготовлении всех видов полупроводниковых приборов и ИМС в том или ином объеме используется технологический процесс нанесения тонких пленок в вакууме – тонкопленочная технология.

Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок , основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок , элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок .

...реактивов в процессе подготовки поверхности подложки перед нанесением пленок ; 5) стойкостью к воздействию нагрева в процессе нанесения тонких пленок и термообработки толстых пленок ; 6) способностью к механической обработке (резке и. т.д.).

В работе рассматриваются основные способы нанесения износостойких покрытий на поверхность режущего инструмента; производится...
- возможность получения тонких пленок металлов, вводя в камеру реакционный газ. Основные преимущества МТИ в следующем

Агрегат для нанесения полимерных пленок на бумагу: 1—рулон с бумагой (размотка); 2—вал для рулона № 2; 3...
Мешки и сумки изготовляют из пленки сваркой. Мешки повышенной прочности получают из тонких (30...50 мкм) и узких лент (из полимера с...

В плёночных интегральных микросхемах элементы создаются осаждением тонких (тонкоплёночные ИС) или толстых...
...ИС часто более важно не измерение толщины пленки после ее получения, а возможность управлять толщиной в процессе нанесения .