Электронны, квантовые приборы и микроэлектроника
4. Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т. Основы микроэлектроники . – М.: Радио и связь, 1991г. – 288 с. 5. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника . Физические и технологические основы , надежность. –