Тонкие пленки нитрида кремния : синтез и структура
Применение нитрида кремния для получения пассивирующих слоев и масок для диффузии и окисления связано с тем, что...
... кремния , а это имеет решающее значение и технологии приборов на полупроводниковых соединениях, однако такие слои по ряду свойств...