Источник ионов для технологических установок
...расстояниях от катода 5 и от обрабатываемой детали 7, но оба эти электрода действуют своими потенциалами на эту область ионного источника практически одинаково, поставляя в ее ионизирующую плазму электроны вторичной ионно - электронной эмиссии .