Производство полупроводниковых приборов
1.4.1 Получение кремния полупроводниковой чистоты. 1.4.2 Выращивание монокристаллов .
...поверхностей, имеющих высокую степень плоскопараллельности при заданной кристаллографической ориентации, с полным отсутствием нарушенного слоя, минимальной...