Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ
2.2 Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью. Из литературных источников [8, 21, 26, 36, 37, 48, 49], известно, что...
...за счет изменения тока на катоде, ускоряющего напряжения между анодом и экстрактором (рисунок 2.1), давления...