Тема: Особенности электронной литографии при низких ускоряющих напряжениях

... электронным пучком при литографии , а также подготовка данных осуществляется при помощи...
Т.о. эффективная контрастность должна быть разной для разных ускоряющих напряжений . Чем выше ускоряющее напряжение , тем ниже эффективная контрастность.

Установки электронно -лучевой литографии обеспечивают ускоряющее напряжение порядка 104В, что соответствует длине волны 50-100 нм.
На данную технологическую операцию требования электронной гигиены составляют: класс чистоты на рабочем месте – 100...

При более низких энергиях можно ускорять более интенсивные пучки электронов, что дает возможность...
...схем, и они открывают новые перспективы для метода литографии , позволяя в принципе создавать интегральные схемы с элементами меньше 100 нм.

...полученным в режиме контроля отраженных электроном при различных ускоряющих напряжениях и увеличении в 250 раз.
Увеличение числа эмиттированных электронов, которые образуют область III, происходит за счёт процесса вторичной электронной эмиссии.

...УФ литографии , поскольку применение высокоэнергетичных электронных пучков или рентгеновских лучей...
4. Коррекция эффектов близости варьированием дозы, размеров экспонируемых областей либо и того и другого. 5. Ускоряющее напряжение (5-10 кэВ).

...УФ литографии , поскольку применение высокоэнергетичных электронных пучков или рентгеновских лучей...
4. Коррекция эффектов близости варьированием дозы, размеров экспонируемых областей либо и того и другого. 5. Ускоряющее напряжение (5-10 кэВ).