Методы термического испарения
Двигаясь от испарителя к подложке с энергией, молекула при столкновении с подложкой отдает ей часть своей энергии.
) появление поверхностных дефектов в результате вылета мелких частиц, нарушающих непрерывность пленочного покрытия