Материаловедение полупроводников
Глазов В. М., Земсков В. С. Физико-химические основы легирования полупроводников . -М.: Наука, 1967. -С. 371. Беляев А. И. Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов . -М.: Металлургия, 1973. -С.224.