Разработка интегральных микросхем
А; 3.2.2 Расчет параметров диода Д303 Ширина эмиттера Rэ=3Δ, площадь эмиттера Sэ=300 мкм2
...полирование выполняется мягкими полировальными составами на основе оксидов алюминия, кремния , хрома, циркония и других размером зерна менее 1 мкм с...