Технология эпитаксиальных пленок InAs
Химические методы требуют наличия сверхчистых вспомогательных материалов кислот, щелочей...
...Гетероэпитаксиальное осаждение полупроводниковых пленок.- Микроэлектроника , 1972, т. 1, № 2, с. 120-133. 5. Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок...