Основы фотолитографического процесса
...слоев на подложку можно использовать методы центрифугирования , пульверизации, купания в растворе, полива и т. д. Центрифугирование находит...
Хорошо приспособлены к автоматизация массовые процессы — проявление, промывка, сушка.