Использование лазеров в информационных технологиях
...фотолак экспонируется с помощью специальной оптической системы излучением коротковолнового лазера (криптоновый лазер, l=0,35 мкм).
Оптический цифровой метод записи требует максимальной оптической и механической точности, а также